CCN Xuân Sơn - Thanh Mỹ nằm cách tuyến đường tránh QL32 khoảng 1km, có mặt cắt quy hoạch là 35m, đoạn đối diện di tích lịch sử đền Và. Khu đất được nghiên cứu quy hoạch xây dựng có quy mô khoảng 108,7ha và giai đoạn II phát triển nâng cấp thành KCN Sơn Tây, được mở rộng thêm trên 150ha nữa.

Nằm trên quốc lộ số 2, tại cửa ngõ đông nam của TP Vĩnh Yên, cách Hà Nội 55 km về phía bắc tây bắc, rộng 262 ha. CN được xây dựng trên nền đất đồi vững chắc, phía đông bắc có ngọn núi Trống che chắn soi bóng xuống mặt nước hồ điều hoà rộng 6 ha

Khu công nghiệp Châu Sơn có diện tích được phê duyệt trong quy hoạch là 169ha, nếu tính cả Cụm công nghiệp Châu Sơn thì lên tới khoảng 200ha. Tổng mức đầu tư được phê duyệt là 309,3 tỷ đồng.